Rapidus株式会社の半導体製造工程用環境装置として採用

株式会社朝日工業社（本社：東京都港区、代表取締役社長：髙須 康有）は、精密空調機ASCシリーズの上位モデルとして、温湿度制御を向上した「高性能温湿調機」をリリースしました。

【画像：https://kyodonewsprwire.jp/img/202412121566-O1-5Z08jRP7】

現代社会において不可欠なスマートフォンやパソコン、IoT化した家電や自動車にはFPD（フラットパネルディスプレイ）や半導体が搭載されています。FPDや半導体の製造工程では、各種装置による超微細加工が求められ、温度・湿度・清浄度をすべて精密に制御することで安定的な製造が実現できます。
精密空調機ASCシリーズは、精密な温度制御を実現したコンパクトな製品で、産業施設や研究施設など多岐にわたる新設・既設の工場で空調設備として使用されています。精密空調機ASCシリーズの温度制御は±0.5℃でしたが、上位モデル「高性能温湿調機」では、温度制御±0.05℃、湿度制御±0.5%RHの制御が可能となりました。
本製品は、Rapidus株式会社が北海道千歳市内で建設している工場の半導体製造工程用環境装置として受注しており、2024年12月に納入予定です。半導体露光装置周りの密閉空間に、温湿度を制御したエアーを供給することで、「露光」工程の生産性向上を図ります。
当社はこれまで培ってきた超精密な制御技術を駆使して、今後も産業施設や研究施設など様々なお客様に最適空間を提供することで、さらなる販売拡大を目指します。
製品詳細につきましては、今後公開予定です。
 
【株式会社朝日工業社について】　https://www.asahikogyosha.co.jp
朝日工業社は、１９２５年の創立以来、「空気・水・熱の科学に基づく高度な技術によって最適空間を創造する」ことを使命とし、設備工事事業および機器製造販売事業を展開しています。　
空気・水・熱をコントロールする技術で、工場や研究所、データセンターなど様々な建物の空調、衛生設備の設計・施工や、半導体、液晶装置メーカー向けの精密環境制御機器の開発設計・製造・販売を行い、「快適環境」「最適空間」の創造に取り組んでいます。

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